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中国光刻机行业发展现状分析(4)

发布时间:2017-08-21 来源: 转至微博:

  作为光刻机巨头ASML长期战略合作伙伴的德国米铱公司,以其超高精度和稳定性的位移传感器,为光刻机内部诸多定位需求提供量身定制的解决方案。在过去的半个世纪里,德国米铱公司一直秉承最高工艺水平和业界标准,不断追求自我挑战,将非接触式位移传感器领域的技术不断向前推进。

  随着中国光刻机事业的不断发展,越来越多的工艺和技术需要向国际先进水平靠拢。目前,大量德国米铱公司提供的激光传感器、电容传感器、电涡流传感器、轮廓扫描仪和光谱共焦位移传感器被应用于光刻机工件台、物镜和相关需要精密定位的环节。

  德国米铱公司不仅为中国光刻机行业提供最先进的产品,还与行业客户一起,量身定制开发适合特定要求的产品和测量解决方案。相信随着中国光刻机技术的不断进步,德国米铱公司也将继续秉承其精益求精的经营理念,与其共同成长,走向未来!

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